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分析EDI高纯水啪啪社区手机版区与混床型高纯水啪啪社区手机版区运行差异

时间:2013-11-25 15:44:39    来源:世韩净水啪啪社  作者:水啪啪社啪啪社区手机版区

   半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业啪啪社,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质,同时伴有对硅、尘粒、有机碳、微生物等物质含量的要求各不一。

22.jpg

  电子工业用超纯水啪啪社区手机版区工艺流程

  电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种:

  1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水啪啪社方式,其基本工艺流程为:原水→沙、碳啪啪啪视频大全→精密啪啪啪视频大全→原水箱→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密啪啪啪视频大全→用水点

  2、采用反渗透水啪啪社啪啪社区手机版区与离子交换啪啪社区手机版区进行组合的方式,其基本工艺流程为:原水→沙、碳啪啪啪视频大全→精密啪啪啪视频大全→反渗透啪啪社区手机版区→原水箱→纯水泵→混床→后置精密啪啪啪视频大全→纯水箱→用水点

  3、采用反渗透水啪啪社啪啪社区手机版区与电去离子(EDI)啪啪社区手机版区进行搭配的的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水→沙、碳啪啪啪视频大全→保安啪啪啪视频大全→一级反渗透啪啪社区手机版区→原水箱→二级反渗透啪啪社区手机版区→纯水泵→电去离子(EDI)→纯水箱→输送泵→UV灯→精混→精密啪啪啪视频大全→用水点

  4、采用反渗透+混合床方式的超纯水机流程如下:

  原水→原水加压泵→砂、碳啪啪啪视频大全→保安啪啪啪视频大全→反渗透→中间水箱→中间水泵→混合床→微孔啪啪啪视频大全→用水点

  电子工业用超纯水的应用领域

  1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;

  2、超纯材料和超纯化学试剂;

  3、实验室和中试车间;

  4、汽车、家电表面抛光啪啪社;

  5、光电产品、液晶显示器

  6、其他高科技精微产品;

  表1 显像管、液晶显示器用纯水水质

项目单位

电阻率

MΩ·cm

(25t)

细菌

/ml

微粒

/ml

TOC

mg/L

Na+

μg/L

K+

μg/L

Cu

μg/L

Fe

μg/L

Zn

μg/L

黑白显像管

彩色显像管

液晶显示器

≥5

≥5

≥5 

≤5

≤1

≤1

≤10(Φ0.5μ)

≤10(Φ1μ)

≤10(Φ1μ)

≤0.5

≤0.5

≤1

≤10

≤10

≤10

≤10

≤10

≤10

≤8

≤10

≤10

≤10

≤10

≤10

≤10

≤10

≤10

  表2 集成电路(DRAM)对纯水水质的要求[4][5][6]

集成电路(DRAM)集成度

16K

64K

256K

1M

4M

16M

相邻线距(μm

4

2.2

1.8

1.2

0.8

0.5

微粒

直径(μm

0.4

0.2

0.2

0.1

0.08

0.05

个数(PCS/ml

100

100

20

20

10

10

细菌(CFU/100ML

100

50

10

5

1

0.5

电阻率(μs/cm25℃

16

17

17.5

18

18

18.2

TOC(ppb)

1000

500

100

50

30

10

DO(ppb)

500

200

100

80

50

10

Na+(ppb)

1

1

0.8

0.5

0.1

0.1

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